Dektak XTL™プローブ式輪郭計は350 mmx 350 mmまでのサンプルを収容でき、大型ウエハとパネル製造にDektakをもたらす®伝奇の再現性。Dektak XTLは空気振動隔離設計と全閉鎖ワークステーション設計を有し、使いやすいインターロックドアを有し、現在の過酷な生産現場環境の理想的な選択である。デュアルカメラアーキテクチャにより、テストスループットを大幅に向上させることができる高度な自動化レベルを備えた空間知覚機能が強化されます。

業界*の優れた自動化と分析ソフトウェア

強化されたソフトウェア機能により、Dektak XTLは機能*強力で、*使いやすいプローブ式輪郭計になります。このシステムはVision 64ソフトウェアを利用して、数百種類の内蔵分析ツールを通じて多くの測定部位、3 Dイメージング、高度にカスタマイズされた特徴分析を実現している。Vision 64ソフトウェアは、曲率半径などの形状を測定することもできます。パターン認識は、オペレータ誤差を大幅に低減し、測定位置精度を向上させることができる。統合されたパッケージは、データ収集と分析を直感的なワークフローに統合します。

****のプローブ技術

Dektak XTLは、現在と将来の厳しい業界ロードマップを満たすために、50年以上にわたるプローブ式輪郭計の専門知識と生産施設のアプリケーションカスタマイズをベースにしています。300 mm高精度エンコードXYサンプルテーブルは、メーカーに厳格な計量研究開発要求を満たす信頼性の高いツールを提供している。Dektakのデュアルカメラ制御とハイビジョン拡大デュアルビューカメラは、高度な空間認識を提供します。リアルタイムビデオ内のクリック位置により、オペレータは迅速に測定設定と自動プログラミングを容易に行うために、サンプルを正確な位置に迅速に移動することができます。このシステムの大型インターロックゲートは、サンプルのロード/アンロードに安全で便利なアクセスを提供します。

その他のハードウェア機能には、次のものがあります。

• 単一アーチ型アーキテクチャと統合振動隔離システムは、業界の優れた性能を実現する
  
• セルフアラインプローブの迅速な交換
• XYサンプルテーブルを高精度にエンコードし、より迅速な自動データ収集を実現

• N-Liteは低力で、ソフトタッチ技術を採用し、1 mmの測定範囲を持ち、精密と高垂直範囲のサンプルを同時に測定することができる。